NIKEL OKSIDI (NiO) YUPQA QATLAMLARINI VAKUUMDA TERMAL YOTQIZISH USULIDA SINTEZ QILISH

Аннотация

Ushbu maqola vakuumli termal bug‘lanish usuli yordamida nikel oksidi yupqa
qatlamlarini olish texnologiyasiga bag‘ishlangan. Jarayonning fizik asoslari, vakuum sharoitining roli,
hamda yupqa qatlamning hosil bo‘lish mexanizmi tahlil qilindi. Nikel oksidi yupqa qatlamlari yuqori
kimyoviy barqarorligi, optik shaffofligi va yarim o‘tkazgichli xususiyatlari sababli zamonaviy elektronika,
gaz sensorlari va fotoelektr qurilmalarida keng ko‘lamda qo‘llanilib kelinmoqda. Vakuumli termal
bug‘lanish usulining texnologik jarayonlari yuqori tozalik shart-sharoitlarini ta’minlanganligi sababli, bu
usul yordamida yuqori sifatli, bir jinsli va zarur bo‘lgan qalinlikdagi Nikel oksidi yupqa qatlamlarini olish
imkoniyati mavjud.