ИЗУЧЕНИЕ МОРФОЛОГИИ, ФАЗОВОЙ ЭВОЛЮЦИИ И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЁНОК ZrO₂ С ПОМОЩЬЮ РАМАН-СПЕКТРОСКОПИИ
Ключевые слова:
ZrO₂ тонкие плёнки, термическая обработка, вакуумная атмосфера, кислородная атмосфера, кислородные вакансии, рамановская спектроскопияАннотация
В работе изучено влияние термической обработки при 600, 900 и 1200 °C в
кислородной и вакуумной средах на морфологию, фазовую эволюцию и колебательные свойства
тонких плёнок ZrO₂. Повышение температуры усиливает диффузию, рост зёрен и структурную
реорганизацию в соответствии с принципом минимизации свободной энергии. Отжиг в кислороде
компенсирует вакансии кислорода, восстанавливает дальний порядок и повышает фазовую
гомогенность, что подтверждается сужением и ростом интенсивности рамановских мод.
Вакуумная обработка формирует нестехиометрическую фазу ZrO₂₋ₓ, увеличивает концентрацию
дефектов и вызывает расширение и смещение рамановских пиков из-за усиления электрон
фононного взаимодействия. Таким образом, атмосфера термической обработки является ключевым
параметром контроля структурных, оптических и диэлектрических свойств плёнок ZrO₂.
