3D O‘LCHAMLI GRAFEN NANOSTRUKTURALAR SINTEZIGA LAZER VA MATERIAL PARAMETRLARINING TA’SIRI
Ключевые слова:
lazer-induksiyalangan grafen, 3D grafen, polimid, femtosekundali lazer, COMSOL Multiphysics, FEM, issiqlik uzatish, lazer yutilishi, skanerlash tezligi, Raman spektroskopiyasiАннотация
Ushbu ishda polimid (PI) substratida lazer-induksiyalangan 3D grafen
nanostrukturalarining shakllanishiga lazer va material parametrlarining ta’siri nazariy, sonli va
eksperimental yondashuvlar asosida tahlil qilinadi. Lazer-polimid o‘zaro ta’siri COMSOL Multiphysics
muhitida chekli elementlar usuli (FEM) asosida modellashtirilib, lazer energiyasining yutilishi, issiqlik
tarqalishi va sirt haroratining fazoviy-vaqt bo‘yicha evolyutsiyasi baholandi. Modelda polimidning issiqlik
o‘tkazuvchanligi, issiqlik sig‘imi, zichligi va optik yutilish koeffitsiyentining haroratga bog‘liqligi hisobga
olindi. Femtosoniyali lazer uchun skanerlash tezligi 0,05-0,20 m/s oralig‘ida o‘rganilib, tezlik kamayishi
bilan issiqlik to‘planishi va maksimal sirt harorati 2400 K dan 2600 K gacha ortishi aniqlandi. Shuningdek,
yutilish koeffitsiyentining A = 0,7; 0,8; 0,9 qiymatlaridagi rejimlari taqqoslanib, A ≈ 0,8 holati grafen hosil
bo‘lish sifati, g‘ovaklik va termik barqarorlik nuqtayi nazaridan maqbul rejim sifatida belgilandi. Olingan
sonli natijalar SEM va Raman tahlillari, shuningdek, LIG ning elektr qarshiligini o‘lchash natijalari bilan
bog‘lanib, lazer parametrlarini boshqarish orqali 3D grafen strukturasini maqsadli shakllantirish imkoniyati
ko‘rsatildi.
